溅射靶材的应用与发展

溅射靶材的应用有溅射靶材的应用；太阳能光伏光热行业；建筑汽车玻璃大面积镀膜；平面显示行业；光学，光通信，光存储行业等

1 靶材应用行业分类

1.1 装饰、工模具镀膜行业靶材铬靶（Cr），平面铬靶，喷涂铬管；
铬硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(电弧，平面靶，旋转管靶）；
钛铝靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%（电弧，平面靶，旋转管靶）；
钛铝硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(电弧，平面靶，旋转管靶）；
钛靶，钛管靶，锆靶；
金靶，玫瑰金靶；
石墨靶，镍靶，铝靶，不锈钢靶等。
1.2 太阳能光伏光热行业靶材
氧化锌铝靶ZAO；硅靶；钛靶、氧化钛靶；铝靶；铬靶、镍铬；锌铝、钨、钼
靶等。
1.3 建筑汽车玻璃大面积镀膜
硅铝靶、旋转硅铝靶；氧化钛靶；锡靶；铬靶；硅靶；钛靶、不锈钢靶。
1.4 平面显示行业
ITO 靶；二氧化硅靶；高纯硅靶5-7N；高纯铬靶3N5；TFT 钼靶；钼铌靶；钨钛
靶90/10wt%；高纯铝靶等。
1.5 光学，光通信，光存储行业
银靶；钽靶；硫化锌靶；高纯铝靶；硅靶。

2 常用靶形
常用靶形有电弧靶、平面靶、旋转管靶。
2.1 平面靶材利用率提高方式
（1）改变磁铁运动方向
（2）改变磁力线分布宽度和高度
2.2 靶材性能与要求
靶材质量直接影响着薄膜的物理、外观、力学等性能，因而对靶材质量的评判较为严格，主
要应满足以下要求：杂质及氧含量低、纯度高；致密度高；成分与组织结构均匀；晶粒尺寸细小。
2.3 劣质靶材缺陷
a)和b)为熔炼铬靶烧蚀后靶面情况
c)靶面有凹痕为引弧针安装不当导致的
d)水晶镀膜靶材密度不够，烧蚀后区别
e)等离子喷涂氧化钛旋转管靶不良

3 介绍几款常用靶材的应用
3.1 装饰、工模具钛铝靶应用
高钛低铝：50/50at% 70Ti/30at% 80Ti/20at%
高铝低钛：67AL/33at% 75AI/25wt% 80AL/20 wt%